硅片拋光機(jī)技術(shù)特點(diǎn)及原理 硅片拋光機(jī)不是碾除整體的糠層,是通過碾除細(xì)微的糠粉和粗糙表上面突起的淀粉細(xì)粒,拋光機(jī)拋光和碾白從工作方面比較存在著很大的差別,拋光機(jī)拋光壓力很低,拋光機(jī)拋光米粒的時(shí)候流體密度很小,拋光時(shí)米粒離開鐵輥的速度很快,而且拋光機(jī)單位產(chǎn)量拋光運(yùn)動(dòng)面積很大。拋光布采用微細(xì)表層結(jié)構(gòu)的軟質(zhì)發(fā)泡聚氨基甲酸人造革。在高速高壓拋光條件下,拋光布和硅片之間形成封閉的拋光劑層。同時(shí),在硅片表面形成軟質(zhì)水合膜,拋光盤通過不斷去除水合膜進(jìn)行硅片的拋光。但是,一旦拋光過程中水合膜發(fā)生破裂,會(huì)在硅片表面產(chǎn)